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    PicoMaster 150

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    主要特點:
    • 單聚焦光束寫入策略
    • 最高解析度0.3 μm
    • 4096階灰階微影
    • 即使在具有挑戰性的基材上也能進行專有自動對焦
    • 最大 150X150mm直寫區域
    • 無接縫直寫
    • Introduction
    • Specification
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