PRODUCTS / 半導體/玻璃 / ZS-Handling

非接觸式wafer/Solar cell取放裝置

LeviWafer-Gripper

EFEM非接觸式wafer取放裝置
採用超音波懸浮技術，適用於超薄矽晶圓與玻璃基板等。

LeviSolar-Gripper

EFEM非接觸式Solar cell取放裝置
採用超音波懸浮技術，適用於超薄矽晶圓與玻璃基板等。